化学杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的结合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体，使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少，进而大幅提高旋片泵的使用寿命，同时维持油腔内的真空度。 杂交泵的主要特点是： *.完善的内置进气口止逆阀系统在突然停止时保护真空系统。 *抗化学腐蚀能力强，适用于抽化学活性强的气体和蒸汽 *耐蒸汽能力强，适用于在抽排过程中会产生大量蒸汽的场合 *配有减压阀，确